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一、產品概述
1、主要用途及應用范圍：該設備可制備TiN\CrN\AlCrN\ZrN\TiC\TiCN\TiAlN\TiAlCN\DLC膜等，非常適合生產企業大批量在刀具（鉆頭、銑刀、拉刀、絲錐、滾齒刀等）、高精工模具（沖壓模具、剪切模具、成型模具、注塑模具等）及其他關鍵部件上鍍制單層/多層硬質涂層、耐腐蝕涂層等功能薄膜。
2、產品優點及特點：設備采用全自動的控制方式，先進的工藝流程控制模式，性能穩定可靠，操作簡單方便。并集成先進的新型弧源鍍膜技術和離子輔助前處理鍍膜技術，可鍍高質量、成膜致密、結合力好、硬度高的硬質涂層，大幅度提高工具及刀具使用壽命。
二、技術參數
| 型號 | GDM1000 |
| 真空腔室尺寸 | Φ1000×H1200mm |
| 真空系統 | 國產或進口分子泵+羅茨泵+機械泵高真空系統 |
| 極限真空 | 優于8.0×10-5Pa |
| 抽速 | 從大氣到5×10-3Pa≤25min，升壓率關機12小時后真空度≤10Pa |
| 工件架尺寸 | 8-12工位，3軸聯動工件架二套；配專用工件車 |
| 工件烘烤溫度 | 室溫～500℃，可調可控（PID控溫） |
| 配置 | 新型弧源、離子源、偏壓 |
| 系統 | 全自動控制系統，個性化的Tech-Coating控制菜單，安全保護系統 |
| 占地面積 | 長×寬：4m×3m |
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